河北清华发展研究院新型锂离子电池创新中心与日本爱发科株式会社达成合作，引进了三台真空蒸镀、溅射相关设备，已于2021年10月在清华大学（固安）中试孵化基地开启安装调试工作，相关工作预计于2021年底结束。

图：锂金属蒸发镀膜设备（上），有机材料蒸发镀膜设备（中），金属及金属氧化物材料磁控溅射镀膜设备（下）

        爱发科株式会社的前身是1952年创立的日本真空技术株式会社，在全球有50家子公司，全球员工6,063人，其中中国员工1,434人，2020年度销售额达到1,830亿日元，企业专利4,847项。爱发科始终怀抱创业精神，锐意进取，追求尖端创新，与各行业的制造商携手合作，提供广泛应用于平板显示器、半导体和电子元器件生产的真空装置，还将真空技术应用到汽车、食品、制药和其他一般行业的生产。

        此次运抵清华大学（固安）中试孵化基地的三台设备，几乎可以在任何固体基材表面，以多种形貌（致密、柱状、海绵状等）形成金属膜（例如：Li、Pt、Ti、Cr、Ni薄膜等）、金属氧化物（例如：LiCoO₂、LiPON）或聚合物薄膜（可原位聚合成膜），同时还备有热处理腔室，可在真空或常圧环境下进行结晶或退火等工艺处理。结合新型锂离子电池创新中心现有设备，可以为各型金属锂电池、锂离子电池、固态或半固态电池的相关基础研究和技术开发提供世界领先水平的服务。以薄膜电池为例，中心可以在器件规定的位置，依据客户的技术要求，制造出总厚度在50微米左右（头发丝直径的一半）、大小在毫米级、容量约20微安时的薄膜电池。

图：薄膜电池工艺流程及样例

        预计于2022年1月开始，此三台设备可以有少量空余机时对外开放，可与各单位开展基础研究或样品试制等方面的合作。